特氣 供應系統的規劃與設計
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加熱用於特殊氣體管路附著去除效應
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特殊氣體供應系統一直是高科技廠務各系統中重要的一環，所以對其整體架構. 設計的合理性與需求性要有完整的規劃。通常在進行建廠的廠務設計時，設計人員. 可能並無實際且 ...
半導體廠氣體供應系統之規劃與設計
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氣體供應大宗氣體特殊氣體氣體監控Bulk gas Special gas; 描述：: 來源期刊:奈米通訊: 卷期:10:3 民92.08: 頁次:頁45-53; 日期：: 20030800; 來源：: 臺灣期刊論文索引系統 ...
廠務123 分享區
http://i8888889.blogspot.com
特氣供應系統的規劃與設計( 上) (半導體科技NO.20, 2001/6)吳志平/ 工研院電子所 由於半導體製程日趨複雜且建廠成本相對的愈來愈高，其使用的製程 ...
氣體供應系統Gas Distribution System
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和淞科技氣瓶櫃通過了SEMI S2 認證的相關要求，並提供氣體供應系統之各項設備，產品線包含VMB、VMP、VDB、VDP、Gas Cabinet、Gas Rack、Purifier Box 及Scrubber。以上所有 ...
特殊气体供应系统规划与设计
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特殊气体供应系统规划与设计GasCabinet/GasRackType：气瓶柜一般常见选用配备如下：UV/IR火焰侦测器、温度侦测器、烟雾侦测器、过流量计、紧急遮断 ...
特殊氣體供應系統
https://www.novatech.com.tw
特殊氣體供應系統. 設備種類. Gas Cabinet氣瓶櫃. Gas Rack氣瓶架. Mixer混氣設備. VMB ... 氣櫃的設計和製造主要是為了安全存儲和操作高純劇毒，可燃，自燃，腐蝕性，氧化性 ...
特氣供應&監控系統整合事業部
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第四事業部 特氣供應&監控系統整合氣瓶櫃、氣瓶架、VMP/P 設計與銷售; GIS、HPM、FMCS 等監控硬軟體規劃設計及監造、加熱帶規劃及銷售1. 二次配工程設計、規劃、測試與 ...
特氣分流閥箱盤
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為一個將特殊氣體分配盤安裝於箱體內的設計，主要用途為連接來自氣瓶櫃或大流量特氣分流箱的管路，調整壓力及流量後，分流出去給設備使用。具有抽氣、氮氣沖吹及排氣等安全 ...
特種氣體系統的設計與施工
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除了簡單的供氣系統以外，特氣房一般都獨立於主場房而單獨建設，其規劃時需考慮建築物的防火、泄爆、防火防爆間距、危險物的總量控制等。常規供氣系統一般 ...
第一章緒論1.1 研究背景及動機1.2 研究目的
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資料來源：特氣供應系統的規劃與設計. 針對氣瓶櫃(Gas Cabinet)與氣瓶架(Gas Manifold)功能，茲將功能分類如下表. 2-1：. 表2-1 氣瓶櫃與氣瓶架功能分類表. 功能. 氣瓶櫃.